सभी उत्पाद
1μm सेमीकंडक्टर प्रक्रिया गैस शुद्धिकरण के लिए धातु फिल्टर मीडिया --- एएमसी नियंत्रण के साथ वेफर निर्माण
नि: शुल्क नमूने और कूपन के लिए मुझसे संपर्क करें।
Whatsapp:0086 18588475571
WeChat: 0086 18588475571
स्काइप: sales10@aixton.com
यदि आपको कोई चिंता है, तो हम 24 घंटे ऑनलाइन सहायता प्रदान करते हैं।
xउत्पाद विवरण
| लम्बाई | 80-100um | Packing | flexible |
|---|---|---|---|
| Application | Semi-conductor Gas Filter/High Purity Gas Filters Solution | सामग्री | स्टेनलेस स्टील 316L/HASTELLOY C22/C59/निकेल 200 |
| व्यास | 1um/1.5um/2um |
उत्पाद विवरण
1μm धातु फ़िल्टर तत्वनैनोस्केल)अर्धचालक प्रक्रिया गैस शुद्धिकरण के लिए
उत्पाद का प्रकार: अल्ट्राफाइन 316L स्टेनलेस स्टील शॉर्ट फाइबर
फाइबर व्यासः 1um/1.5um/2um उपलब्ध
कट लंबाईः 80-100um
कच्चे माल की रासायनिक संरचना ((Wt%)
|
तत्व |
सी |
हाँ |
एमएन
|
नि
|
सीआर
|
मो
|
एस
|
पी
|
|
मानक
|
≤0.03
|
≤1.00
|
≤2.00
|
10 से 14
|
16 से 18
|
2~3
|
≤0.03
|
≤0.045
|
|
मूल्य
|
0.028
|
0.56
|
0.5
|
10.85
|
16.97
|
2.1
|
0.003
|
0.027
|
अर्धचालक विनिर्माण में, दोषों को रोकने और उच्च उपज सुनिश्चित करने के लिए अति-उच्च शुद्धता प्रक्रिया गैसों को बनाए रखना महत्वपूर्ण है।धातु फिल्टर मीडिया गैस शुद्धिकरण में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हुए कण प्रदूषकों को हटा देते हैं और साथ ही वायुजनित आणविक संदूषण (एएमसी) नियंत्रण में योगदान देते हैं।जो उन्नत वेफर निर्माण के लिए आवश्यक है.
प्रमुख विशेषताएं और लाभ
उच्च दक्षता निस्पंदन (1μm प्रतिधारण)
सूक्ष्म कणों को कैप्चर करता है जो फोटोलिथोग्राफी, उत्कीर्णन और जमाव प्रक्रियाओं में दोष पैदा कर सकते हैं।
वेफर्स की सतह के दूषित होने के जोखिम को कम करता है, जिससे उपज में सुधार होता है।
रासायनिक रूप से निष्क्रिय और संक्षारण प्रतिरोधी
उच्च शुद्धता से बनास्टेनलेस स्टील (316L), निकेल या सिंटर मिश्र धातुआक्रामक गैसों (जैसे, एचएफ, एचसीएल, एनएच 3) के साथ संगतता के लिए।
अतिरिक्त संदूषण को रोकने के लिए, आउटगैसिंग का प्रतिरोध करता है।
एएमसी नियंत्रण क्षमता
कुछ उन्नत धातु फिल्टर में शामिल हैंसतह उपचार या कोटिंग(उदाहरण के लिए, निष्क्रियता, इलेक्ट्रोपॉलिशिंग) अस्थिर कार्बनिक पदार्थों या एसिड के अवशोषण/desorption को कम करने के लिए।
मिलने में मदद करता हैSEMI F21 एएमसी वर्ग 1EUV लिथोग्राफी जैसी संवेदनशील प्रक्रियाओं के लिए आवश्यकताएं।
उच्च तापमान और दबाव प्रतिरोध
कठोर परिस्थितियों में स्थिर प्रदर्शन (कुछ मिश्र धातुओं के लिए 500°C या उससे अधिक तक) ।
उपयुक्तसीवीडी, प्रसार और आयन प्रत्यारोपणगैस लाइनें।
लंबी सेवा जीवन और सफाई
सफाई के बाद पुनः प्रयोज्य (अल्ट्रासोनिक, रासायनिक या थर्मल विधियों), स्वामित्व की लागत को कम करना।
ऊर्जा-कुशल गैस प्रवाह के लिए कम दबाव ड्रॉप डिजाइन।
अर्धचालक विनिर्माण में अनुप्रयोग
अति-उच्च शुद्धता (UHP) गैस वितरण(N2, Ar, H2, O2, आदि)
उत्कीर्णन और अवशेष प्रक्रियाएं(सीवीडी, पीवीडी, एएलडी)
फोटोलिथोग्राफी(एएमसी-संवेदनशील ईयूवी/डीयूवी वातावरण)
थोक गैस और उपयोग के बिंदु (PoU) निस्पंदन
विकल्पों के बजाय धातु फिल्टर क्यों?
उत्कृष्ट स्थायित्वबनाम पॉलीमर फिल्टर (जो कणों को गिरा सकते हैं और फेंक सकते हैं).
कोई फाइबर काटा नहींपारंपरिक HEPA/ULPA फिल्टर के विपरीत।
बेहतर एएमसी शमनमानक कण फिल्टर की तुलना में।
अनुपालन और मानक
एसईएमआई एफ20(कण नियंत्रण)
एसईएमआई एफ21(एएमसी वर्गीकरण)
आईएसओ 14644-1(स्वच्छता कक्ष मानक)
निष्कर्ष
1μm धातु फ़िल्टर मीडियाअर्धचालक गैस शुद्धिकरण के लिए एक मजबूत समाधान है, जोकण निस्पंदन, एएमसी नियंत्रण और रासायनिक प्रतिरोधउन्नत वेफर निर्माण की सख्त मांगों को पूरा करने के लिए।
अनुशंसित उत्पाद
